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Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2004년도 추계학술대회 논문요약집
발행연도
2004.10
수록면
9 - 13 (5page)

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2005

초정밀 이송테이블의 5자유도 운동오차 측정
오윤진 ,  박천홍 ,  황주호 외 1명 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2005.11 학술저널

2004

오차보정을 위한 초정밀 테이블의 5 자유도 운동오차 측정
오윤진 ,  박천홍 ,  이득우 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2004.10 학술대회자료

초록· 키워드

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In this paper, measuring system of 5 DOF motion errors are proposed using two capacitive type sensor, a straight edge and a laser interfoerometer. Yawing error and pitching error are measured using the laser interferometer, and rolling error is measured by the reversal method using a capacitive type sensor. Linear motion errors of horizontal and vertical direction are measured using the sequential two point method. In this case, influence of angular motion errors is compensated using the previously measured angular motion errors. In the horizontal direction, measuring accuracy is within 0.05 ㎛ and 0.27 arcsec, and in the vertical direction, it is within 0.15 ㎛ and 0.5 arcsec. From these results, it is confirmed that the proposed measureing system is very effective to the measurement of 5 DOF motion errors in the ultra precision feed tables.
#5DOF motion error(5 자유도 운동오차) #Reversal method(반전법) #Sequential two point method(축차이점법) #Capacitive type sensor(정전용량형 센서) #Straight edge(참조면) #Hydrostatic table(유정압테이블)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 운동오차의 측정방법
3. 실험장치 및 예비실험
4. 5 자유도 운동오차의 측정결과
5. 결론
참고문헌

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