Effect of microstructure on mechanical properties of Ti-Al-N thin films synthesized by magnetron sputtering techniques

Young Dae Jo ,  Kwang Ho Kim

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

Deposition of TiO thin films using grid-assisting magnetron sputtering

Min J. Jung ,  Yong M. Kim ,  Yun M. Chung 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2003 .05

RF magnetron 스파터링법으로 제작한 TiN_x 박막의 XPS 분석

박문찬 ,  오정홍 ,  황보창권

한국안광학회지

1998 .12

RF magnetron 스파터링법으로 제작한 TiN_x 박막의 면저항분석

박문찬 ,  오정홍 ,  김남영 외 1명

한국안광학회지

1999 .06

Deposition of Cu-Ni films by Magnetron Co-Sputtering and Effects of Target Configurations on Film Properties

Soo-Hyung Seo ,  Chang-Kyun Pa ,  k 외 3명

KIEE International Transactions on Electrophysics and Applications

2003 .02

Dependence of the Characteristics of the Lab6 Films on the Dc Magnetron Sputtering Power

Jing Xu ,  Guanghui Min ,  XiaOhua Zhao 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

Mechanical Properties of TiN Films Deposited with Magnetron Sputtering

Min-A Song ,  Ji-Hoon Yang ,  Jae-Hun Jung 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

증착율 변화에 따른 TIO 박막의 전기적, 광학적 특성 변화

문현주 ,  김대일

열처리공학회지

2016 .01

Magnetron sputtering을 이용한 Zu-Mg 박막의 합성 및 특성에 관한 연구

라정현 ,  이창민 ,  김범석 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2011 .11

Properties of magnetron sputtering cathodes having high deposition rate and wide erosion area

Jang Sick Pa ,  k ,  Tae Woo Kim 외 5명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2005 .05

Deposition of IGZO thin film using DC and ICP at magnetron sputtering system

C. H. Lee ,  K. N. Kim ,  T. H. Kim 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .05

Al thin films of high density deposited with magnetron sputtering

Ji Hoon Yang ,  Jae-Hun Jung ,  Min-A Song 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

Pulsed Magnetron Sputtering Deposition of DLC Films : Park Ⅱ:High-voltage Bias-assisted Deposition

Hui-Gon Chun ,  Jing-Hyuk Lee ,  Yong-Zoo You 외 2명

한국표면공학회지

2003 .04

RF Magnetron Sputtering에 의한 $(Ba_{0.5}, Sr_{0.5})Tio_3$박막의 제조와 전기적 특성에 관한 연구

박상식 ,  윤손길

한국재료학회지

1994 .01

RF magnetron sputtering에 의한 $(Ba_{1-x},Sr_{x})TiO_{3}$ 박막의 제조와 전기적 특성에 관한 연구

박상식 ,  윤순길

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

ITO thin film electrode deposition on plastic substrates by DC magnetron sputtering

이종걸 ,  이선영 ,  김성수

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2008 .04

DC Magnetron Sputtering에 의해 증착된 알루미늄 박막의 특성

표재확 ,  연충규 ,  황기웅

대한전기학회 학술대회 논문집

1993 .11

Development of High Entropy Alloy Film using Magnetron Sputtering

Young Seok Kim ,  Ki Seong Lim ,  Ki Buem Kim

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2018 .06

Low-pressure Ion Beam Assisted Magnetron Sputtering

Igo ,  Svadkovski ,  Eungsun Byon 외 5명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

Role of Oxygen Potential on the Mechanical Properties of ITO and IZO films Deposited by RF Magnetron Sputtering Method

Sung Hun Lee ,  Do Geun Kim ,  Mi Rang Pa 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06