EFFECTS OF THE COPPER ADDITION ON PHYSICAL PARAMETERS OF MAGNETRON-SPUTTERED Al-1% SI-X% Cu FILMS

C. G. Ko; J. K. Kim; K. S. Cho

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: C. G. Ko J. K. Kim K. S. Cho

저널정보: 대한전자공학회 ICVC : International Conference on VLSI and CAD ICVC : International Conference on VLSI and CAD 제1권

발행연도: 1989.1

수록면: 303 - 306 (4page)

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