Magnetron Sputtering 법을 이용한 Mo-Cu 박막의 특성

이한찬 ,  문경일 ,  이붕주 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2011 .07

Comparative study of microstructure and mechanical properties for films with various deposition rate by magnetron sputtering

Kyung H. Nam ,  Yun M. Jung ,  Jeong G. Han

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2000 .11

Deposition of TiO thin films using grid-assisting magnetron sputtering

Min J. Jung ,  Yong M. Kim ,  Yun M. Chung 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2003 .05

RF magnetron 스파터링법으로 제작한 TiN_x 박막의 XPS 분석

박문찬 ,  오정홍 ,  황보창권

한국안광학회지

1998 .12

RF magnetron 스파터링법으로 제작한 TiN_x 박막의 면저항분석

박문찬 ,  오정홍 ,  김남영 외 1명

한국안광학회지

1999 .06

EFFECTS OF THE COPPER ADDITION ON PHYSICAL PARAMETERS OF MAGNETRON-SPUTTERED Al-1% SI-X% Cu FILMS

C. G. Ko ,  J. K. Kim ,  K. S. Cho

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1989 .01

Mechanical Properties of TiN Films Deposited with Magnetron Sputtering

Min-A Song ,  Ji-Hoon Yang ,  Jae-Hun Jung 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

Structure and Properties of Indium Tin Oxide Thin Films Sputtered from Different Target Densities

Kyoo Ho Kim ,  Young Hee Jung ,  Bad 외 3명

한국표면공학회지

2005 .10

Pulsed DC 마그네트론 스퍼터링으로 제조된 다층 광학박막의 특성

김동원

한국표면공학회지

2019 .08

마그네트론 코-스퍼터링에 의한 구리-니켈 합금박막 증착시 타겟의 구성방법에 따른 물성 분석

서수형 ,  이재엽 ,  박창균 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2000 .07

Al thin films of high density deposited with magnetron sputtering

Ji Hoon Yang ,  Jae-Hun Jung ,  Min-A Song 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

RF magnetron sputtering에 의한 $(Ba_{1-x},Sr_{x})TiO_{3}$ 박막의 제조와 전기적 특성에 관한 연구

박상식 ,  윤순길

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

RF Magnetron Sputtering에 의한 $(Ba_{0.5}, Sr_{0.5})Tio_3$박막의 제조와 전기적 특성에 관한 연구

박상식 ,  윤손길

한국재료학회지

1994 .01

Deposition of copper oxide by reactive magnetron sputtering

이준호 ,  이치영 ,  이재갑

한국재료학회 학술발표대회

2010 .01

Development of High Entropy Alloy Film using Magnetron Sputtering

Young Seok Kim ,  Ki Seong Lim ,  Ki Buem Kim

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2018 .06

Deposition of IGZO thin film using DC and ICP at magnetron sputtering system

C. H. Lee ,  K. N. Kim ,  T. H. Kim 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .05

증착율 변화에 따른 TIO 박막의 전기적, 광학적 특성 변화

문현주 ,  김대일

열처리공학회지

2016 .01

ITO thin film electrode deposition on plastic substrates by DC magnetron sputtering

이종걸 ,  이선영 ,  김성수

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2008 .04

Ni 층간박막에 따른 SnO₂ 박막의 전기적, 광학적 물성 변화

송영환 ,  엄태영 ,  김대일

열처리공학회지

2016 .01

Pulsed Magnetron Sputtering Deposition of DLC Films : Park Ⅱ:High-voltage Bias-assisted Deposition

Hui-Gon Chun ,  Jing-Hyuk Lee ,  Yong-Zoo You 외 2명

한국표면공학회지

2003 .04