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이용수
ABSTRACT
1. 서론
2. 입자코팅패드
3. 입자 코팅과 폴리머 조성
4. 실험 및 고찰
5. 결론
참고문헌
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Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2004 .05
층간절연막으로서 저유전박막 폴리이미드와 금속의 전기적 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
1998 .11
습식자기연마(WMAP)에서 입자의 구속과 가공효과에 관한 연구
대한기계학회 춘추학술대회
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패드의 점탄성 거동이 마이크로 패턴 CMP 연마 특성에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2014 .10
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