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이용수
1. 서론
2. 특징 및 공정
3. 결과 요약
참고문헌
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유도 결합 플라즈마 기술
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MEK-PO 분해 폭발사고 사례 연구
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UHV송전기술에서의 개발과제
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이중 주파수를 이용한 펄스 유도 결합 플라즈마 특성 연구
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알긴산의 라디칼 분해
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2001 .04
다면적 플라즈마 공정에서 자장이 내장형 선형 유도결합 플라즈마 특성에 미치는 영향에 관한 연구
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2003 .05
고진동 듀얼스테이지의 제어기 최적설계
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2008 .06
대형 유도 결합 플라즈마 시스템의 플라즈마 수치 해석
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2016 .05
저압 유도결합 플라즈마(ICP)의 연구동향
전기의세계
1994 .03
대면적 플라즈마 공정을 위한 ferrite module을 이용한 U-type 내장형 선형 유도결합 플라즈마 소스에 관한 연구
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2009 .05
유도 결합 플라즈마 보조 스퍼터링 장치의 기술적 발전 과제
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2011 .01
UHV IVG의 성능평가 및 고찰
대한전기학회 학술대회 논문집
2003 .10
Ar 가스압력과 RF 전력변화 (13.56㎒)에 따른 유도결합형 플라즈마의 광학적 E-H모드변환 특성
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2003 .07
진공용 나노스테이지의 이중 서보 제어에 관한 연구
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2007 .06
금속 윈도우 유도 결합 플라즈마 방전 장치에 대한 수치 해석적 접근
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2017 .01
유체 시뮬레이션을 이용한 N₂/SiH₄/NH₃ 유도 결합형 플라즈마 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2016 .10
유도결합 플라즈마에서 두 안테나의 구조에 따른 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2007 .11
초고진공 전자공명 플라즈마를 이용한 실리콘 기판표면 세정화 ( Si Wafer Surface Cleaning by UHV ECR Plasma )
대한전자공학회 학술대회
1992 .11
450mm 웨이퍼 공정을 위한 이중 주파수 유도결합 플라즈마 소스의 개발 및 특성 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2012 .05
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