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한국지능시스템학회 한국지능시스템학회 학술발표 논문집 한국퍼지 및 지능시스템학회 2004년도 추계학술대회 학술발표논문집 제14권 제2호
발행연도
2004.10
수록면
67 - 70 (4page)

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Semiconductor Wet Station has a very important place in semiconductor process. It is important that to discharge chemical with fit concentration and temperature using chemical supply system for clean process. The chemical supply system which is used currently is not only difficult to make a fit mixing rate of chemical which is need in clean process, but also difficult to make fit concentration and temperature. Moreover, it has high stability but it is inefficient spatially because its volume is great. We propose In-line System to improve system with implement analysis of fluid and thermal transfer on chemical supply system and understand problem of system.
#반도체장비 #지능 알고리즘 #약액공급장치

목차

Abstract
1. 서론
2. 약액 공급 시스템
3. 실험
4. 결론 및 향후과제
ACKNOWLEDGEMENT
5. 참고문헌

참고문헌 (0)

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