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한국산학기술학회 한국산학기술학회 학술대회논문집 한국산학기술학회 2004년도 추계학술발표대회 논문집
발행연도
2004.11
수록면
111 - 113 (3page)

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최근 반도체 제조공정의 많은 부분이 트랙(Track)장비 형태로 구성되어져있다. 이러한 복합제조 장비들은 각 모율간의 상호 작용이 복잡하고 체제 가능시간도 엄격히 제안되고 있어 각각의 모듈들을 효율적으로 운용하기 위해서 반드시 스케쥴러가 필요 되어 진다. 하지만 우리나라에서 대표적 트렉장비로 볼수 있는 Wet Station에 대한 스케쥴링 분야에 대한 연구는 미약한 편이며 앞으로 많은 연구와 ... 전체 초록 보기

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