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논문 기본 정보

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한국정보기술학회 한국정보기술학회논문지 한국정보기술학회논문지 제6권 제5호
발행연도
2008.10
수록면
19 - 27 (9page)

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반도체 제조공정의 많은 부분은 트랙장비 형태로 구성되어져있다. 이러한 복합제조 장비들은 각 모듈간의 상호 작용이 복잡하고 체제 가능시간도 엄격히 제안되고 있어 각각의 모듈들을 효율적으로 운용하여야 하며 갑작스러운 문제 발생시 즉각적인 대처가 필요하다. 현재 대표적 트랙장비로 볼 수 있는 wet station에 대한 효율적인 스케줄링과 실시간 관리를 위해 통합관리 시스템이 필요하다. 본 논문은 wet station 장비의 운용효율성을 향상시키고 원격 모니터링 및 관리를 위한 통합관리 시스템을 제안하고 평가하는데 그 목적이 있다. 본 연구에서는 복수개의 lot이 트랙에서 처리될 때 후행 lot의 대기시간을 감소시키는 방법을 제시하였다. 본 연구의 처리방법은 실험에 의해 60%정도의 개선이 있음을 확인하였다. 또한 MVC모델 기반으로 통합관리시스템을 개발함으로 wet station에 대한 관리를 효율적으로 할 수 있도록 하였다. 본 연구의 결과는 트랙장비, 인라인장비, 클러스터 툴 등을 효율적 운용하는데 사용 될 수 있다.
#semiconductor production process #process management system #scheduling

목차

요약
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 관련 연구
Ⅲ. 대기시간 개선 방법
Ⅳ. 구현 및 성능평가
Ⅴ. 결론
참고문헌
저자소개

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