PECVD 법에 의해 증착된 Ti-Si-C 코팅막 내의 증착 온도와 r.f. Power에 따른 특성 변화

옥정태 ,  전준하 ,  송풍근 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2004 .11

Si 및 InP 위에 PECVD법에 의한 $Si_{3}N_{4}$의 증착

김남준 ,  유순재 ,  김앙서 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

Ti-Si-C, Ti-B-C 코팅막 내의 증착온도에 따른 미세구조와 기계적 물성 변화

허수정 ,  옥정태 ,  김광호

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2005 .05

RF-PECVD법에 의한 Ti-Si-N 박막의 증착거동

이응안 ,  이윤복 ,  김광호

한국표면공학회지

2002 .08

Si 함량에 따른 Ti-Al-Si-C-N 코팅막의 미세구조와 기계적 특성의 변화에 관한 연구

홍영수 ,  권세훈 ,  김광호

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2009 .05

PECVD법에 의해 증착된 Ti-B-C 코팅막의 Boron함량에 따른 미세구조 및 기계적 물성 변화

옥정태 ,  허수정 ,  김광호

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2005 .05

하이브리드코팅시스템으로 제조된 나노복합체 Ti-Si-C-N 코팅막의 미세구조와 미세경도

장철식 ,  전준하 ,  김광호

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2004 .05

Investigation on the Electric Properties of a-Si on c-Si by used PECVD

HyeonHun Yang ,  Hanwool Kim ,  ChangGwon Lee 외 5명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2012 .06

Si 함량에 따른 Ti-Al-Si-C-N 코팅막의 미세구조와 기계적 특성의 변화에 관한 연구

홍영수 ,  권세훈 ,  김광호

한국표면공학회지

2009 .04

이온선 보조 증착법을 이용한 Ti/Si계 반응에 관한 연구

장재호 ,  윤동수 ,  김기범 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

60㎒ PECVD법에 의한 μc-Si:H 박막의 저온증착 및 태양전지 응용

이정철 ,  정연식 ,  김석기 외 5명

대한전기학회 학술대회 논문집

2003 .07

PECVD법에 의해 증착된 Ti-B-C 코팅막 내의 보론함량과 증착온도에 따른 미세구조 및 기계적 물성의 변화

옥정태 ,  송풍근 ,  김광호

한국표면공학회지

2005 .06

Ti-Si-N코팅의 기계적 성질에 관한 온도와 기판 바이어스의 영향

이정두 ,  김광호

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2009 .10

PECVD에 의한 μc-Si : H 박막트랜지스터의 제조 ( Fabrication of μc-Si : H TFTs by PECVD )

문교호 ,  이재곤 ,  최시영

전자공학회논문지-A

1996 .05

Optical Properties of Si nanocrystalline using PECVD

Hyeon Hun Yang ,  Han Wool Kim ,  Chang Gwon Lee 외 5명

대한전기학회 학술대회 논문집

2011 .11

PECVD를 이용한 Si₃N₄ 박막의 공정변수에 따른 특성분석과 응용

신재완 ,  이복형 ,  이성대 외 6명

대한전자공학회 학술대회

1999 .06

Hybrid코팅시스템에 의해 증착된 Ti-Cr-Si-N 코팅막의 합성 및 기계특성

전진우 ,  홍승균 ,  김광호

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2006 .04

PECVD를 이용한 SiO2 / Si3N4 박막의 특성 고찰 ( Characteristics of SiO2 / Si3N4 Films Using the PECVD Method Under Various Conditions )

김우진 ,  임우택 ,  김재영 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1991 .11