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이용수
Abstract
1. 서론
2. 실험 방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
후기
참고문헌
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하이브리드 증착 시스템에 의해 합성된 나노복합체 Ti-Al-Si-N 박막의 미세구조와 기계적 특성
한국표면공학회지
2003 .04
하이브리드 공정으로 제조한 Ti-Si-N 박막의 특성평가
한국재료학회 학술발표대회
2002 .01
Effect of Si addition on the Corrosion Behavior of Ti-Si-N Coatings by a Hybrid Coating System
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2008 .06
하이브리드 코팅시스템에 의해 제조된 Ti-Cr-Si-N 박막의 미세구조 및 기계적 특성연구
한국표면공학회지
2005 .06
Ti-Si-C, Ti-B-C 코팅막 내의 증착온도에 따른 미세구조와 기계적 물성 변화
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2005 .05
이온선 보조 증착법을 이용한 Ti/Si계 반응에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1999 .01
RF-PECVD법에 의한 Ti-Si-N 박막의 증착거동
한국표면공학회지
2002 .08
혼합기체 sputtering 법으로 증착된 Cu 확산방지막으로의 Ti-Si-N 박막의 특성 연구
한국재료학회지
1999 .01
하이브리드 코팅시스템으로 합성된 Ti-Si-N 코팅막의 Si조성비에 따른 부식특성변화
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2009 .05
하이브리드코팅시스템으로 제조된 나노복합체 Ti-Si-C-N 코팅막의 미세구조와 미세경도
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2004 .05
Si 함량에 따른 Ti-Al-Si-C-N 코팅막의 미세구조와 기계적 특성의 변화에 관한 연구
한국표면공학회지
2009 .04
코발트/내열금속 이중박막을 이용한 $CoSi_{2}$ 에피박막형성에 관한 연구
한국재료학회지
1995 .01
나노복합 코팅층 형성을 위한 Ti-Al-Si 스퍼터링 타겟 제조 및 이를 이용해 형성된 코팅층 물성평가
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2014 .05
Ti-Si-N코팅의 기계적 성질에 관한 온도와 기판 바이어스의 영향
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2009 .10
Si 함량에 따른 Ti-Al-Si-C-N 코팅막의 미세구조와 기계적 특성의 변화에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2009 .05
Cu와 Si간의 확산방지막으로서의 Ti-Si-N에 관한 연구
한국재료학회지
2001 .01
Ti-Al-Si-N 박막 제작을 위한 합금 타겟 제조 및 박막의 기계적 특성
전기전자재료학회논문지
2016 .01
Hybrid PVD로 제조된 Ti-Me-N (Me=V, Si 및 Nb) 나노 박막의 미세구조와 마모특성
한국표면공학회지
2011 .06
$Li_2$형$(Ai, Cr)_3$/Ti기 2상 금속간화합물의 소성거동
한국재료학회지
1994 .01
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