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이용수
1. 서론
2. 실험방법
3. 결과 요약
참고문헌
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
플라즈마 화학 가장 증착법을 이용한 TiN/AlN 다층피막의 제조
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2000 .11
Ti/TiN/Ti buffer layer/TiN 구조를 갖는 TiN 박막의 충격마모특성에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2001 .11
플라즈마 잠김 이온주입 및 증착법으로 제작된 TiN 박막의 특성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2001 .07
TiN 표면 위에 텅스텐의 화학증착 ( Chemical Vapor Deposition of Tungsten on TiN Surface )
전자공학회논문지-A
1992 .04
Synthesis, Microstructure and Mechanical Properties of Ti-Si-B-C coatings by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2013 .11
RF-PECVD법에 의한 Ti-Si-N 박막의 증착거동
한국표면공학회지
2002 .08
TiN피막의 경도 및 구조적 특성에 미치는 화학증착 조건의 영향
한국표면공학회지
1987 .09
원자층 증착법으로 형성한 TiN 박막의 특성 연구
한국재료학회 학술발표대회
1999 .01
경사 증착법으로 제조된 TiN 박막의 특성 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2010 .11
Ti-Si-C, Ti-B-C 코팅막 내의 증착온도에 따른 미세구조와 기계적 물성 변화
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2005 .05
이온빔보조증착에 의한 TiN 박막의 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
1998 .05
Ti 또는 Ti/TiN underlayer가 Al 박막의 배향성 및 면저항에 미치는 영향
한국재료학회지
2000 .01
빗각 증착으로 제조된 다층 TiN 박막의 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2012 .05
DC Reactive Magnetron Sputtering법에 의한 Ti-Al-V-N 박막의 성장거동
한국재료학회지
1999 .01
PECVD법에 의해 증착된 Ti-B-C 코팅막 내의 보론함량과 증착온도에 따른 미세구조 및 기계적 물성의 변화
한국표면공학회지
2005 .06
빗각 증착으로 제조된 TiN 코팅층의 기계적 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2013 .05
ECR 플라즈마 기상화학 증착법에 의해 증착된 TiN 박막의 비저항, 피복성 및 확산 방지 특성에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1996 .01
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