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Ternary Mo-Cu-N films were deposited on Si wafer substrates with various copper contents by magnetron sputtering method using Mo target and Cu target in Ar/N₂ gaseous atmosphere. As increasing N₂ pressure, the microstructure of Mo-N films changed from γ-Mo₂N of (111) having face-centered-cubic (FCC) structure to δ-MoN of (200) having hexagonal structure. Detailed the microstructures of the Mo-Cu-N coatings were studied by X-ray diffraction, scanning electron microscopy and field emission transmission electron microscope. The results indicated that the incorporation of copper into the growing Mo-N coating led to the Mo₂N and MoN crystallites were more well-distributed and refined and the copper existed in grain boundary. Ternary Mo-Cu-N films had a composite microstructure of the nanosized crystal crystalline γ-Mo₂N and δ-MoN surrounded by amorphous Cu₃N phase.
목차
Abstract
1. 서론
2. 실헙방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
후기
참고문헌
참고문헌 (28)
참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - K. H. Kim / 2003 / / Surf. Coat. Technol. 163 : 605 ~
2. [학술지(정기간행물)] - S. Boelens / 1987 / / Surf. Coat. Technol. 33 : 63 ~
3. [학술지(정기간행물)] - P. Hones / 1998 / / Thin Solid Films 332 : 240 ~
4. [학술지(정기간행물)] - K. H. Lee / 2001 / / Thin Solid Films 385 : 167 ~
5. [학술지(정기간행물)] - M. K. Kazmanli / 2003 / / Surf. Coat. Technol. 167 : 77 ~
2. [학술지(정기간행물)] - S. Boelens / 1987 / / Surf. Coat. Technol. 33 : 63 ~
3. [학술지(정기간행물)] - P. Hones / 1998 / / Thin Solid Films 332 : 240 ~
4. [학술지(정기간행물)] - K. H. Lee / 2001 / / Thin Solid Films 385 : 167 ~
5. [학술지(정기간행물)] - M. K. Kazmanli / 2003 / / Surf. Coat. Technol. 167 : 77 ~
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