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Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. 실험결과 및 검토
4. 결론
5. 참고문헌
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TiN 표면 위에 텅스텐의 화학증착 ( Chemical Vapor Deposition of Tungsten on TiN Surface )
전자공학회논문지-A
1992 .04
TiN피막의 경도 및 구조적 특성에 미치는 화학증착 조건의 영향
한국표면공학회지
1987 .09
TiN 코팅 공구의 절삭저항에 관한 연구
한국공작기계학회지
2000 .04
TiN 피복 세라믹공구의 절삭저항에 관한 실험적 연구
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
1999 .10
TiN 에 대한 W의 부착특성에 관한 연구(l)
한국재료학회지
1993 .01
시분할 화학증착장치를 이용한 TiN 박막의 성장과 특성
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
Arc Vapor Ion Deposition법으로 제조된 TiN피막의 내마모성에 관한 연구
한국표면공학회지
1994 .02
AVID법에 의한 TiN피막의 내마모성에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
1991 .10
이온빔보조증착에 의한 TiN 박막의 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
1998 .05
원자층 증착법으로 형성한 TiN 박막의 특성 연구
한국재료학회 학술발표대회
1999 .01
유도 결합 플라즈마 화학기상 증착법에 의한 TiN 증착
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2002 .05
플라즈마 화학증착법에 의한 TiN/(Ti,Al)N 다층박막의 제조 및 기계적 특성에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2001 .06
플라즈마 화학 가장 증착법을 이용한 TiN/AlN 다층피막의 제조
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2000 .11
TiN의 충진처리가 확산방지막 특성에 미치는 영향(I) : Al/TiN/Si 구조
한국재료학회지
1995 .01
유기소스 원자층 증착법으로 증착된 TiN 박막의 특성 연구
한국재료학회 학술발표대회
2002 .01
스퍼터링 증착조건이 TiN막의 마모특성에 미치는 영향 ( The Effect of Sputtering Deposition Conditions on Tribological Characteristics of TiN films )
Tribology and Lubricants
1995 .03
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