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한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2008 춘계학술대회 논문집
발행연도
2008.5
수록면
127 - 131 (5page)

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Inherent merits fabricating thin wafers motivated the development of laser dicing machines. In this study, the dynamic characteristics of the prototype of a laser dicing machine has been evaluated using ANSYS based modal and harmonic analysis. The computation shows that the supporting structure of the laser tube which is a guide of laser beams is stable in terms of the dynamic stiffness. But, the thickness of the beams supporting the upper structure of a laser dicing machine has to be increased.
#Laser dicing machine #Modal analysis #harmonic analysis #dynamic stiffness

목차

Abstract
1. 서론
2. Laser dicing Machine Center 진동 특성 해석
3. Laser Dicing 장비의 레이저 경통 부분 동특성 해석
4. 결론
후기
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