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저널정보
한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2005 추계학술대회 논문집
발행연도
2005.10
수록면
443 - 448 (6page)

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This paper introduces a couple of surface matching algorithms that can be used to reconstruct the surface topography of an object scanned of by an AFM. These image matching techniques are applied to two neighboring images intentionally overlapped with each other. To enhance the performance, this paper compare two algorithms using the correlation coefficient and the sum of the squared differences. To compensate for the inaccuracy of the coarse stage implemented to AFM, all the six axes including the rotational degrees of freedom are successively matched to maximize the coefficient defined. The results show that the proposed algorithms are useful for measurement range extension of AFM. The results also show that a combined use of the two indices is beneficial for practical cases.

목차

Abstract
1. 서론
2. 측정면적 확대 방법
3. 알고리즘의 적용 및 결과
4. 결론
참고문헌

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-552-016175204