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저자정보
김종배 (고등기술연구원) 김경호 (고등기술연구원) 배한성 (고등기술연구원) 남기중 (고등기술연구원) 이대철 ([주] 아텍) 서운학 ([주] 아텍)
저널정보
한국레이저가공학회 한국레이저가공학회 학술대회 논문집 한국레이저가공학회 2006년도 추계학술발표대회 논문집
발행연도
2006.1
수록면
123 - 127 (5page)

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Hybrid type microscope with a Scanning Confocal Microscope (SCM) and a shear-force Atomic Force Microscope (AFM) is suggested and preliminarily studied. A image of $120{\times}120{\mu}m^2$ is obtained within 1 second by SCM because scan speed of a X-axis and Y-axis are 1kHz and 1Hz, respectively. Shear-force AFM is able to correctly measure the hight and width of sample with a resolution 8nm. However, the scan speed is slow and it is difficult to distinguish a surface composed of different kinds of materials. We have carried out the measurement of total image of a sample by SCM and an exact analysis of each image by shear-force AFM.
#Hybrid type microscope #Scanning confocal microscope #Shear-force Atomic Force Microscope

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