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한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2005 춘계학술대회 논문집
발행연도
2005.5
수록면
413 - 418 (6page)

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This paper proposes a measurement method for the surface of micro-parts by using AFM(Atomic Force Microscope). To this end, two techniques are presented to extend the capacity of AFM. First, the measurement range is extended by using an image matching method based on correlation coefficients. To account for the inaccuracy of the coarse stage implemented in AFM's, the image matching technique is applied to two neighboring images intentionally overlapped with each other. Second, a method to measure the shape of relatively large specimen is presented by using the inherent trigger mechanism due to the atomic force. The proposed method is proved effective through a series of experiments.
#원자간력 현미경(Atomic Force Microscope) #영상정합(Image matching) #상관계수(Corre1ation coefficient) #3차원 측정기(Coordinate measuring machine) #접촉/비접촉 측정(Contact/Noncontact measurement) #힘구배(Force gradient)

목차

Abstract
1. 서론
2. 영상정합에 의한 측정 범위 확대
3. 원자간력 트리거 방식을 이용한 임의 표면 형상 측정
4. 결론
참고문헌

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