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Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2005년도 추계학술대회 논문요약집
발행연도
2005.10
수록면
578 - 581 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (4)

2006

영상 피라미드법을 이용한 원자간력 현미경의 측정면적 확대 알고리즘 개선
고명준 ,  서용규 ,  홍성욱 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2006.05 학술대회자료
원자간력 현미경의 측정면적 확대에 관한 연구
고명준 ,  Vlad Pat ,  angena 외 2명 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2006.04 학술저널

2005

원자간력 현미경의 측정면적 확대에 관한 연구
고명준 ,  V. Pat ,  angena 외 3명 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2005.10 학술대회자료
원자간력 현미경의 측정면적 확대를 위한 영상정합 알고리즘 개발
고명준 ,  V. Pat ,  angena 외 2명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2005.10 학술대회자료

초록· 키워드

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This paper introduces a correlation-based surface matching algorithm that can be used to reconstruct the surface topography of an object that is scanned from multiple overlapping regions by an AFM. The image matching technique is applied to two neighboring images intentionally overlapped with each other. To account for the inaccuracy of the coarse stage implemented in AFM, all the six axes including the rotational degrees of freedom are successively matched to maximize the correlation coefficient. The results show that the proposed 6-axes image matching method is useful for expanding the measurement range of AFM.
#Atomic Force Microscope(원자간력 현미경) #Image Matching(영상정합) #Correlation Coefficient(상관계수) #Measuring Area(측정면적)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 상관계수 영상정합에 의한 측정면적 확대
3. 제안된 방법의 적용 및 결과
4. 결론
참고문헌

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