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한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2007 춘계학술대회 논문집
발행연도
2007.5
수록면
97 - 101 (5page)

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We developed an alignment system for large area nano-imprint lithography. The alignment device is composed of vision part, drive part and control part. The vision part consists of two fine cameras and two pre cameras. These four cameras are used for searching target marks and object marks. The drive part is made up of three servo motors and three motor drives. According to control command, three servo motors drive stage with 1㎛ axis accuracy. The control part consists of control PC and Fv-aligner, Based on vision image information, Fv-aligner calculates U,V,W Axis Calibration values. After that, relative position between mark of mold and mark of glass will be adjusted. Besides three parts, there are UV-lamp part and laser calibration part.
#nano imprint #alignment #vision system #UV soft lithography

목차

Abstract
1. 서론
2. 정렬장비 시스템의 구성
3. 장비의 수정사항과 기초실험결과
4. 결론
5. 감사의 글
6. 참고문헌

참고문헌 (0)

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