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조성만 (서울산업대학교) 송춘삼 (서울테크노파크) 김준현 (서울테크노파크) 김종형 (서울산업대학교)
저널정보
제어로봇시스템학회 제어로봇시스템학회 논문지 제어로봇시스템학회 논문지 제15권 제9호
발행연도
2009.9
수록면
909 - 915 (7page)

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This work is to develop a vision system for high precision alignment between upper and lower plates required at the imprinting process of the large LCD flat panel. We compose a gantry-stage that has highly repeated accuracy for high precision alignment and achieves analysis about thermal transformations of stage itself. Position error in the stage is corrected by feedback control from the analysis. This system can confirm alignment mark of upper and lower plates by using two cameras at a time for the alignment of two plates. Pattern matching that uses geometric feature is proposed to consider the recognition problem for alignment mark of two plates. It is algorithm to correct central point and angle for the alignment from the recognized mark of upper and lower plates based on the special characteristics. At the alignment process, revision for error position is performed through Look and Move techniques.
#high precision alignment #thermal transformation #position error #pattern matching #look and move techniques

목차

Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 비전 시스템 구성
Ⅲ. Gantry stage 변형 보정
Ⅳ. Align 알고리즘
Ⅴ. 실험 및 고찰
Ⅵ. 결론
참고문헌

참고문헌 (8)

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1. [학술지(정기간행물)] - 송춘삼 / 2007 / LCD 모듈 조립라인의 공정 자동화 설계 / 한국생산제조시스템학회지 16 (5) : 162 ~ 165 dbpia 2. [보고서] - LG전자(주) / 2004 / 대면적 디스플레이용 나노급 초정밀 스테이지 개발에 관한 연구 google schola 3. [학술대회논문] - 송영중 / 2007 / 대면적 임프린트 장비의 스테이지 정렬운동 과정에서 LCD Glass 변형에 대한 시뮬레이션 연구 / 한국공작기계학회 춘계학술대회 논문집 : 108 ~ 111 dbpia 4. [학술지(정기간행물)] - 송춘삼 / 2007 / LCD 모듈 조립라인의 공정 자동화 설계 / 한국생산제조시스템학회지 16 (5) : 162 ~ 165 dbpia 5. [단행본] - R. C. Gonzalez / 1992 / Digital Image Processing, 2nd Ed / Addison Wesley google schola

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