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논문 기본 정보

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학술대회자료
저자정보
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2008년도 추계학술대회
발행연도
2008.11
수록면
1,939 - 1,943 (5page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2008

UV 나노임프린트리소그래피의 정렬 공정 중 몰드의 변형해석
박인수 ,  원종진 ,  임홍재 외 1명 대한기계학회 춘추학술대회 2008.11 학술대회자료

2007

UV임프린트 리소그래피의 정렬공정중 레진의 경화에 따른 정렬오차
박인수 ,  원종진 ,  장시열 외 2명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2007.11 학술대회자료

초록· 키워드

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Deformation of a mold is measured and analyzed in alignment and curing processes of UV-Imprint Lithography. We are focused on mold deformation caused by a UV resin, which is laminated between a mold and a target glass-panel. The UV resin is viscous in case of liquid state, and the resin will be solidified when being exposed by the ultra-violet light. The viscosity of the resin causes shear force on the mold during the alignment process. Moreover, the shrinkage during phase change from liquid to solid may cause residual stress on the mold. The experiments for measuring temperature and strain are made during alignment and curing process. Strain-gages and thermocouples are used for measuring the strain and variation of temperature on several points of the mold, respectively. The deformation of mold is also simulated and analyzed. The simulation results are compared with the experiments. Finally, sources of alignment errors in large area UVnanoimprint lithography are discussed.
#Nano imprint lithography(나노임프린트 리소그래피) #Alignment(정렬) #deformation of mold(몰드의 변형)

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험과 시뮬레이션
3. 결론
후기
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대면적 나노임프린트 리소그래피에 사용되는 기점마크를 이용한 정렬과정의 오차원인 분석
박인수 ,  박영걸 ,  이민규 외 5명 대한기계학회 춘추학술대회 2006 .11

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