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한국가시화정보학회 한국가시화정보학회 학술발표대회 논문집 한국가시화정보학회 2002년도 마이크로/바이오 가시화기술부문 학술강연회
발행연도
2002.4
수록면
1 - 7 (7page)

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This papers describes the preparation and experimental results of a micro mass detection devices based on cantilever and a diffuser-type micro pump using screen printing thick-film technologies and Si micro-machining. PZT-PCW thick films were prepared by new hybrid method based on the screen printing. By applying these PZT-PCW piezoelectric thick films on actuator, a cantilever for mass detection sensor and a micropump for microfluidic clement are successfully fabricated. Resonant frequency and displacement of PZT-PCW thick film actuator in air and in liquid are measured by laser vibrometer system as a function of actuator size. The resonant frequency of PZT-PCW thick film actuator in liquid decreases order of 1/2-1/4 due to damping effect. The sensitivity of cantilever is characterized by Au deposition method which has the mass loading effect such as adsorption of protein. The Sensitivity of PZT-0.12PCW thick film cantilever is proportional to detecting area.
#Cantilever #Micropump #Piezoelectric #PZT #Thick Film technology

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. 실험결과
4. 결론
참고문헌

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