Micro Valve with Functional Actuator

윤소남 ,  함영복 ,  이경우 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2004 .11

PZT 액튜에이터 제어기의 성능측정 및 특성해석

조정대 ,  윤소남 ,  함영복

한국자동차공학회 춘 추계 학술대회 논문집

2003 .05

마이크로 압전 엑츄에이터용 후막 PZT의 제조 및 특성

박준식 ,  박광범 ,  윤대원 외 5명

대한기계학회 기타 간행물

2002 .11

광화학증착법에 의한 직접패턴 PZT 박막의 제조 및 특성

박형호 ,  박형호 ,  김태송

한국재료학회지

2008 .01

마이크로 압전 엑츄에이터 제조를 위한 PZT 박막의 이온 밀링 식각 공정 연구

박준식 ,  김대식 ,  박광범 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

Chemical Solution Deposition of PZT/Oxide Electrode Thin Film Capacitors and Their Micro-patterning by using SAM

Suzuki ,  Hisao

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2005 .01

PZT 후막의 미세 구조적 특성에 조성과 전구체 용액의 코팅이미치는 영향

박상만 ,  이성갑 ,  노현지

전기전자재료학회논문지

2006 .01

Pulsed laser deposition of crystalline PZT thin films

윤경구 ,  이성국 ,  김재구 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

1999 .05

PZT Actuator Scan을 위한 제어시스템개발

임대영 ,  차현록 ,  안재영 외 4명

한국지능시스템학회 학술발표 논문집

2012 .04

PZT 액츄에이터를 이용한 마이크로 어레이 타공 연구

이강원 ,  제태진 ,  유영은 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2007 .06

PZT actuator를 이용한 외팔보의 능동진동제어

신창주 ,  홍진숙 ,  정의봉

한국소음진동공학회 학술대회논문집

2008 .11

에어로졸 증착법에 의한 압전 PZT 후막의 제조

김기훈 ,  방국수 ,  박찬

한국해양공학회지

2013 .12

RF 스위치 적용을 위한 박막 PZT 엑추에이터의 d₃₁ 구동과 d₃₃ 구동 특성 비교

신민재 ,  서영호 ,  최두선 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2006 .05

PZT(5/95)PZT(95/5) 이종층 박막의 코팅횟수에 따른 구조적 특성

노현지 ,  이성갑 ,  남성필 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2009 .11

PZT를 이용한 광 정보저장기기용 액추에이터의 트랙 추적제어

정동하 ,  박태욱 ,  박노철 외 2명

한국소음진동공학회논문집

2004 .05

PZT의 변위특성을 이용한 정밀스테이지의 개발

정동호 ,  권현규 ,  김영식

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2007 .11

PZT(10/90)/PZT(90/10) 이종층 박막의 구조적, 전기적 특성

李成甲 ,  金經兌 ,  裵善基 외 1명

전기학회논문지 C

2000 .02

PZT 액추에이터를 이용한 위치결정용 정밀스테이지의 개발

정동호 ,  남기호 ,  권현규 외 1명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2007 .06

초고집적회로의 커패시터용 PZT 박막의 입열 조건에 따른 유전특성 - 1 - 비정질 PZT를 사용한 PZT 박막의 누설전류 개선에 관한 연구 ( Dielectric properties with heat-input condition of PZT thin films for ULSI`s capacitor - 1- A study on the improvement of leakage current of PZT thin films using a amorphous PZT layer )

마재평 ,  백수현 ,  황유상

전자공학회논문지-A

1995 .12

적층형 압전 마이크로밸브의 압력 레귤레이팅 기술

윤소남 ,  김찬용 ,  이경우 외 2명

한국동력기계공학회 학술대회 논문집

2004 .12