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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2003.4
- 수록면
- 1,326 - 1,331 (6page)
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Thick PZT films are required for the cases of micro actuators and sensors with high driving force,
high breakdown voltage and high sensitivity, and so on. In this work, thick PZT films were fabricated
by Sol-Gel multi-coating method. Total 8 types of samples using thick PZT films with thicknesses, about
1㎛ and 2㎛, and Pt top electrodes shapes for measuring transverse piezoelectric coefficient (e 31,f) were
fabricated using MEMS processes. They were characterized by fabricated e31,f measurement system
before and after poling. e31,f values of samples after poling were higher than before poling. Those of 2㎛
thick PZT films were also higher than 1㎛ thick PZT films. And those with long electrodes as top
electrodes were also higher than shorter.
high breakdown voltage and high sensitivity, and so on. In this work, thick PZT films were fabricated
by Sol-Gel multi-coating method. Total 8 types of samples using thick PZT films with thicknesses, about
1㎛ and 2㎛, and Pt top electrodes shapes for measuring transverse piezoelectric coefficient (e 31,f) were
fabricated using MEMS processes. They were characterized by fabricated e31,f measurement system
before and after poling. e31,f values of samples after poling were higher than before poling. Those of 2㎛
thick PZT films were also higher than 1㎛ thick PZT films. And those with long electrodes as top
electrodes were also higher than shorter.
목차
Abstract
1. 서론
2. 실험 방법 및 이론
3. 실험 결과
4. 결론
후기
참고문헌
참고문헌 (0)
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