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대한기계학회 대한기계학회 논문집 A권 대한기계학회논문집 A권 제31권 제10호
발행연도
2007.10
수록면
993 - 998 (6page)

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To verify the 2D or 3D positioning accuracy of a multi-axes stage is not easy, particularly, in the case the moving path of the stage is not linear. This paper is a study on a measuring method for the curved path accurately. A machine vision technique is used to trace the moving path of two-axes stage. To improve the accuracy of machine vision, a zoom lens is used for the 2D micro moving path. The accuracy of this method depends of the CCD resolution and array align accuracy with the zoom lens system. Also, a further study for software algorithm is required to increase the tracing speed. This technique will be useful to trace a small object in the 2D micro path in real-time accurately.
#Ball-Bar Test(볼바 시험) #Machine Vision(머신 비젼) #Path Tracing(궤적 추적) #Real-Time(실시간) #Two-Axes Stage(2축 스테이지)

목차

Abstract
1. 연구배경
2. 2차원 궤적 실시간 추적 알고리즘
3. 머신 비젼을 이용한 마이크로 궤적 추적 장치
4. 원형 궤적 데이터 분석
5. 결론 및 향후 연구
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