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학술대회자료
저자정보
이지성 (국민대학교) 정재일 임홍재 (국민대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2008도 동역학 및 제어부문 춘계학술대회 강연 및 논문집
발행연도
2008.5
수록면
137 - 142 (6page)

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Vibrational analysis for a machine vision system of the nanoimprint process is presented in this article. For the nano-imprinting equipment, the machine vision system is one of the essential parts in order to align the several layers or in order to inspect nano/micro patterns transferred by the nanoimprint. In the development, system resonance due to internal or external vibrational sources should be considered. In fact, the microvibration phenomenon is usually observed when measuring the position of the patterns by using the machine vision system. In this work, a detail design of the machine vision system is depicted. Based on the design, the normal mode analysis and frequency response analysis are carried out in order to find and to suppress the source of the micro-vibration. In the future, we hope that the results of the design consideration will be a guideline for constructing a machine vision system for the nanoimprint process.
#Natural Frequency(고유진동) #Frequency response(주파수 응답) #resonance(공진) #Machine Vision System(머신 비전 시스템) #Micro Frequency(마이크로 진동)

목차

Abstract
1. 서론
2. 머신 비전 시스템의 배경과 구성
3. 마이크로 진동과 고유 진동 해석
4. 주파수 응답 해석
5. 결론
후기
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