단백질의 비특이성 결합을 막는 플라즈마 중합된 Cyclohexane 박막의 표면 분석

최창록 ,  여상학 ,  손현경 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2006 .08

저유전상수값을 갖는 플라즈마 폴리머 박막의 헬륨 플라즈마 처리에 대한 특성 연구

이성우 ,  양재영 ,  정동근 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2005 .08

PECVD를 이용하여 플라즈마 중합된 저유전상수 cyclohexane 박막의 특성과 C - H 양과의 관계

심천만 ,  양재영 ,  최자영 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .02

전기분해장치를 이용한 Cyclohexane의 제거

김재준 ,  예병대 ,  김윤형 외 2명

한국대기환경학회 학술대회논문집

2007 .05

플라즈마 인자가 유기실리콘 박막 증착에 미치는 영향 연구

장봉철 ,  김곤호 ,  민경호 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2004 .02

Hexamethyldisiloxane과 Neohexane 단량체를 이용하여 플라즈마 중합된 저유전상수 갖는 박막의 증착파워 변화에 따른 특성연구

우지형 ,  이성우 ,  문미란 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .08

스퍼터법으로 증착된 ITO / Glass 박막의 전기 및 광학적 특성과 플라즈마 처리에 따른 박막의 표면거칠기 변화

정명효 ,  백민 ,  윤종만 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .02

압력 변화에 따른 플라즈마 쉬스(Sheath)의 특성 연구

홍보한 ,  이강일 ,  김곤호

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .02

플라즈마 중합된 저유전상수 para - xylene 박막의 H₂+He 플라즈마 처리에 의한 유전 및 열 특성 향상

권영춘 ,  여상학 ,  심천만 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .02

유도 결합 플라즈마를 이용한 스퍼터-승화 증착 시스템의 공정 분석

유영균 ,  최지성 ,  주정훈

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .08

저 유전 a-C:F 박막의 접착 특성에 관한 연구

김태언 ,  고호정 ,  양창실 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2003 .08

Toluene을 precursor로 사용한 plasma enhanced chemical vapor deposition에 의한 실리콘 집적회로용 저 유전상수(low - k) 유사중합체 유기박막의 증착 및 특성분석

주종량 ,  권영춘 ,  정동근

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .02

PECVD 증착조건 변화에 따른 a-C:H 박막의 구조 변화

조영옥 ,  노옥환 ,  윤원주 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .02

Batch - Type 원자층 증착 방법으로 형성한 실리콘 질화막의 특성

김혁 ,  이주현 ,  한창희 외 4명

Applied Science and Convergence Technology

2003 .12

증착온도에 따른 Fe 박막의 구조적, 자기적 특성 변화 연구

조윤희 ,  김지웅 ,  이지성 외 1명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2016 .11

캐패시턴스 변화를 이용한 진공 플라즈마 실시간 진단 기술

이환희 ,  이태현 ,  권희태 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .08

플라즈마 중합에 의한 ZnO 중간층의 구조 및 기체투과성

송준용 ,  김정용 ,  정현옥 외 8명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

증착 에너지의 변화에 따른 박막특성 분석 및 수직자기이방성 연구

김지민 ,  김동석 ,  김범진 외 4명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2016 .05

In₂O₃ 박막위에 증착된 초박막 Co 촉매가 NO의 감도에 미치는 영향

이혜정 ,  김경국 ,  정종학 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .02