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상압 플라즈마를 이용한 고품질 고속증착 실리콘 박막의 증착
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
상압 플라즈마를 이용한 저온 증착 공정
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
Flexible FPD의 확산방지막으로 적용키 위한 상압 플라즈마 화학기상증착법을 이용한 SiO₂ 박막 증착에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
상압 플라즈마를 이용한 탄소나노튜브 성장 및 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .02
상압 플라즈마의 전극 구조에 따른 DBD 특성연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .08
상압플라즈마를 이용한 TFT - LCD에서 PR ashing 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2003 .08
VOC 제거를 위한 상압플라즈마 발생장치 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
상압에서 발생된 마이크로파 플라즈마의 광학적 진단 및 플라즈마 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
유기 실리콘 시료를 이용하는 유도결합형 플라즈마 산화막 증착장치에서의 플라즈마 특성연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .07
상압 플라즈마 (APP : Atmospheric pressure Plasma)에 의한 PS에 증착된 Cu 박막의 접착력 증진 및 친수성 변화
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
대기압 플라즈마 정밀 Etching 기술 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
원거리 플라즈마 화학증착법(RPECVD)에 의해 증착한 Carbon Nitride 박막의 구조적 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1996 .02
상온 상압 플라즈마 표면처리가 비닐과 금형의 anti-sticking에 미치는 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
In-line 시스템 방식의 대기압 플라즈마 증착 장비를 이용한 HMDS/O₂조성에 따른 SiO₂ 박막 증착 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
증착공정에서 발생하는 플라즈마의 실시간 측정과 증착박막에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .08
상압 플라즈마 화학기상 증착법으로 제작한 MoS₂/Si와 WS₂/Si 이종접합 소자의 계면 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
유기금속전구체를 이용하여 플라즈마 원자층 증착법으로 증착된 TaN과 TiN 박막의 물성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .06
내장형 유도 결합 플라즈마를 사용한 박막 증착 장치의 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .02
Remote방식의 대기압 플라즈마 장치를 이용한 SiO₂ 박막 증착 및 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
Transient Spark 방전에 대한 전기ㆍ광학적 특성 고찰
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
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