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벌집형 셀구조를 가지는 스퍼터 이온펌프의 성능 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .02
스퍼터 이온펌프의 양극 셀 지름에 따른 배기효율 분석 및 응용
한국진공학회 학술발표회초록집
2005 .08
휴대 가능한 초소형 이온펌프의 개발 및 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2005 .02
이온펌프의 기초와 이론
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
이온펌프 배기셀에 따른 배기속도
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .08
이온 펌프의 제작과 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .07
이온펌프 배기속도 측정 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
PIC 시뮬레이션을 이용한 2극형 스퍼터 이온펌프의 배기효율의 정량적 계산
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .08
10-10 Pa 영역에서의 스퍼터 이온펌프와 Non-Evaporable Getter (NEG) 펌프조합의 배기 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
TSV용 스퍼터 테스트 카트 디자인
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
개선된 진공 배기 성능과 저손상 전처리 장치가 장착된 롤투롤 스퍼터 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
PLC를 이용한 다량의 소형 이온펌프 전원 제어
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
이온펌프 설계 및 제작 공정 실무
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
간단한 조합펌프의 진공 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
롤투롤 스퍼터를 이용하여 성장시킨 정전용량 방식의 터치 패널용 ITO 투명 전극 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
Two - step 고온 스퍼터에 의한 알루미늄 증착 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1995 .02
스퍼터된 산화아연 박막의 결정 성장 방향에 따른 전기적 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
스퍼터 증착을 이용한 선택적 투과막 형성
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
Overview on the Development of UHV Ion Pumps
Applied Science and Convergence Technology
2006 .05
마그네트론 스퍼터용 플라즈마 전원장치에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .08
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