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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제15권 제3호
발행연도
2006.5
수록면
231 - 240 (10page)

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본 총설논문에서는 초고진공 이온펌프의 개발에 대한 고찰을 하였으며, 이온펌프의 동작원리와 특정 디자인에 대하여 설명하였다. 다양한 가스를 사용할 때의 이온펌프의 성능과 동작범위, 그리고 응용분야 등을 논의하였다.
#Ion pump #Diode #Starcell #Vacuum #이온펌프 #다이오드 #스타셀 #진공

목차

Abstract
Ⅰ. Introduction
Ⅱ. Principles of Ion Pump
Ⅲ. Electrical Characteristics of the Penning Cell
Ⅳ. The Sputter-Ion Pump
Ⅴ. Pumping Mechanism for Different Gases
Ⅵ. Type of Pumping Elements
Ⅶ. Applications
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