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개선된 진공 배기 성능과 저손상 전처리 장치가 장착된 롤투롤 스퍼터 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
DC 마그네트론 스퍼터를 사용하여 투명 디스플레이 전면전극용 ITO박막의 증착 및 조건 변화에 따른 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
파일럿 롤투롤 스퍼터로 증착한 plasma polymer/inorganic 다층박막의 반사방지 및 발수 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
파일럿 롤투롤 스퍼터로 증착한 OMO 구조 ITO/Ag/ITO 필름의 발열 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
스퍼터 및 CVD 공정을 통한 대면적 텍스쳐 기판에서의 균일한 페로브스카이트 박막 증착
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
Cu2ZnSnS4 박막 및 소자 특성에 대한 전구체에 Zn 또는 ZnS 타겟을 사용 했을 때의 효과
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
스퍼터 장치로 제조된 나노다층박막의 미세구조 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
선형대향타겟 스퍼터를 이용하여 성막시킨 InSnTiO 박막의 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
TSV용 마그네트론 스퍼터링 음극의 컴퓨터 시뮬레이션
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
플라즈마 전기적 진단 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
EMF (electromagnetic field strength)가 스퍼터된 ITO 박막의 초기 성장에 미치는 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
캐패시턴스 변화를 이용한 진공 플라즈마 실시간 진단 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
투명 면상 발열체 응용을 위한 하이브리드 스퍼터 ITO / Ag / ITO 박막의 물성평가
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
컴퓨터 기반 플라즈마 진단 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
TSV (Thermal Sensation Votes) 기반 한국인 열 스트레스 평가를 위한 인지온도 최적화
한국기상학회 학술대회 논문집
2017 .10
What do we know about plasma?
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
플라즈마 기술의 상업화 사례
진공이야기
2018 .12
SiO₂ 원자층 식각에서 인가 전력 공정 윈도우와 플라즈마 활성종 간 상관관계
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
플라즈마 분광 진단 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
투명 면상 발열체 응용을 위한 하이브리드 스퍼터 GZO/Ag/GZO 박막의 물성평가
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
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