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스퍼터 이온펌프의 양극 셀 지름에 따른 배기효율 분석 및 응용
한국진공학회 학술발표회초록집
2005 .08
이온펌프 배기셀에 따른 배기속도
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .08
스퍼터이온펌프의 소형ㆍ경량화 방법
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
벌집형 셀구조를 가지는 스퍼터 이온펌프의 성능 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .02
10-10 Pa 영역에서의 스퍼터 이온펌프와 Non-Evaporable Getter (NEG) 펌프조합의 배기 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
이온펌프의 기초와 이론
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
보조펌프(backing pump)의 배기용량에 따른 터보분자펌프(TMP) 배기속도 측정에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
입구에 스테인리스 스틸 망이 장착된 조합펌프의 배기속도
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .02
이온 펌프의 제작과 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .07
게터조합펌프의 배기속도 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
이온펌프 배기속도 측정 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
10-9 Pa대 용기를 위한 NEG 펌프 제작 및 진공성능 조사
Applied Science and Convergence Technology
2001 .10
TSV용 스퍼터 테스트 카트 디자인
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
증착 공정을 위한 중간 압력 용량결합형 플라즈마 장비에 대한 병렬화된 PIC-MCC 시뮬레이션
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
개선된 진공 배기 성능과 저손상 전처리 장치가 장착된 롤투롤 스퍼터 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
반도체 공정의 배기계통 및 진공펌프 실시간 상태진단기술 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
조합(게터+이온)펌프의 배기속도
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
크라이오펌프 알곤 배기용량 기준에 대한 고찰
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
저진공펌프의 저유량 영역에서의 배기속도 측정 시스템 구축
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .06
조합펌프와 이온펌프의 초고진공 배기 성능 비교
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
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