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DC 마그네트론 스퍼터를 사용하여 투명 디스플레이 전면전극용 ITO박막의 증착 및 조건 변화에 따른 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
DC 마그네트론 스퍼터법으로 Al 박막의 형성 시 실시간 전기저항 측정에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
두 개의 그리드를 이용한 개선된 마그네트론 플라즈마에서 플라즈마 특성 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2003 .02
DC 마그네트론 스퍼터법에 의해 증착한 금속박막의 실시간 면저항 변화 특성연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
개선된 진공 배기 성능과 저손상 전처리 장치가 장착된 롤투롤 스퍼터 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
Ga이 도핑된 단결정 n - ZnO 박막의 RF 마그네트론 스퍼터 성장과 특성분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .08
RF 마그네트론 스퍼터 방법에 의한 다결정 니켈 산화물 박막의 비저항 조절연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
합금화된 단일타겟을 마그네트론 스퍼터를 이용하여 합성된 나노복합구조 Al-Ti-X-N (X=Si,Cu,Cr) 코팅의 기계적 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
RF 마그네트론 스퍼터 증착법에 의해 성장된 ZnO:Cr 박막의 Multiferroic 특성연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
TSV용 스퍼터 테스트 카트 디자인
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
단결정 Zn1-xMgxO 박막의 RF 마그네트론 스퍼터 성장 및 특성평가
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .08
그리드를 이용한 DC 마그네트론 스퍼터링 소스의 플라즈마 특성에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .08
Unbalanced DC 마그네트론 스퍼터링 소스의 플라즈마 특성에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .02
환상형타겟 마그네트론 스퍼터링 장치 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
증착공정에서 발생하는 플라즈마의 실시간 측정과 증착박막에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .08
DC 마그네트론 스퍼터링 증착법을 이용한 산화 티타늄 박막의 표면 형태와 조성 제어에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
롤투롤 스퍼터를 이용하여 성장시킨 정전용량 방식의 터치 패널용 ITO 투명 전극 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
마그네트론 스퍼터로 코팅된 알루미늄 박막의 미세구조 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
Two - step 고온 스퍼터에 의한 알루미늄 증착 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1995 .02
TiAl-N 코팅의 내식성에 미치는 4원계 원소 영향에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
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