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CF₄/O₂ 가스를 사용한 평판 디스플레이 식각용 대면적 유도 결합 플라즈마의 전산모사
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
평판형 디스플레이 공정을 위한 내장형 유도 결합 플라즈마 소스에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
건식 식각용 대면적 고밀도 초고주파 유도결합형 플라즈마 소스(VHF - ICP Source) 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
대면적 플라즈마 디스플레이 패널용 MgO 성막의 요소기술 및 장치개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .02
건식식각공정물성데이터베이스의 생산전략
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
LCD 평판디스플레이 응용 플라즈마 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
자화 유도 결합 플라즈마의 산화물 건식 식각 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .08
대면적 페라이트 유도결합플라즈마 소스에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
대면적 페라이트 유도결합플라즈마 소스에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
대면적 대기압 플라즈마 소스의 방전 특성 및 이를 이용한 One Side Doping 공정 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .08
대면적 디스플레이 장치를 위한 선형 유도결합형 플라즈마 소오스에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2003 .08
고밀도 유도 결합형 플라즈마를 이용한 Mo 건식 식각 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
O₂/N₂ 플라즈마를 이용한 아크닐의 건식 식각 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .02
내장형 선형 유도결합 플라즈마를 이용한 대면적 플라즈마 공정에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
공기 플라즈마를 이용한 폴리카보네이트의 RIE 건식 식각
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .02
플라즈마 건식식각 중에 발생하는 충격에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .07
펄스 직류 전원 BCl₃/He 플라즈마를 이용한 GaAs 건식 식각
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
C4F8 가스를 이용한 식각 공정 플라즈마에서 첨가 가스(Ar, Kr)에 따른 플라즈마 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
Pulse DC O₂ 플라즈마를 이용한 PMMA와 폴리카보네이트 기판의 건식 식각
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
ECR 플라즈마 식각장치의 고진공 시스템제작 및 반도체 식각특성연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1991 .07
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