지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
이용수
등록된 정보가 없습니다.
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
대면적 플라즈마 공간균일도 진단에 활용 가능한 여기온도 진단법
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .02
가시광영역 방출광 측정에 기반한 화염의 회전온도 및 진동온도 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
유도결합플라즈마 공정에서 조건별 플라즈마 방출광 세기 변화에 따른 전자온도의 전기적, 광학적 진단에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
초대면적 플라즈마의 공간균일도 평가를 위한 방출광 진단계 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .02
연속 방출광 스펙트럼을 이용한 대기압 플라즈마의 전자온도 및 전자밀도 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .02
연속방출광 기반의 대기압 플라즈마 전자진단 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
내장형 선형 유도결합 플라즈마를 이용한 대면적 플라즈마 공정에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
대면적 플라즈마 반응기에서의 안테나와 aspect ratio에 따른 플라즈마의 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
준광학 밀리미터파를 이용한 유도결합 플라즈마의 물성 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
대면적 플라즈마 공정을 위한 자장이 인가된 내장형 선형 유도결합형 플라즈마에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2003 .02
플라즈마 방출광 진단을 이용한 플라즈마 진단 및 제어에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
대기압 플라즈마 젯의 질소종에 의한 방출광 및 온도변화 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
대면적 페라이트 유도결합플라즈마 소스에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
대면적 페라이트 유도결합플라즈마 소스에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
유도 결합 산소 플라즈마에서 고조화파 분석법을 이용한 음이온 공간 분포 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
대면적 대기압 플라즈마 소스의 방전 특성 및 이를 이용한 One Side Doping 공정 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .08
적합화된 자장의 세기 및 배열을 통한 대면적 유도결합형 플라즈마 개발에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
유체시뮬레이션을 통한 대면적 유도결합 플라즈마의 최적화에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
유체시뮬레이션을 통한 대면적 유도결합 플라즈마의 최적화 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
0