EEPF in a high power pulsed DC magnetron sputtering discharge

인정환; 김용모; 장홍영; 한전건

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 인정환 김용모 장홍영 한전건

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제29회 학술발표회 초록집

발행연도: 2005.8

수록면: 154 - 154 (1page)

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