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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 창립 60주년 기념 춘계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2005.5
수록면
48 - 53 (6page)

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Capacitive Comb drives are widely used in MEMS devices such as gyroscope, accelerometer, microgripper, resonator, etc. These comb drives have been studied for linear actuation or stable output. This paper showes the effect of new designed comb finger shape which has better linearity than common rectangular style comb fingers. The new designed capacitive micro tilt sensors have a high quality performance which verifies the simulation results. The new sensors showed enhanced e linearity and resolution compared to rectangular shape tilt sensors
#comb(콤) #tilt sensor(틸트 센서) #bulk micromachining(벌크마이크로머시닝) #linearity(선형성) #resolution(해상도) #MEMS(맴즈) #capacitance(정전용량)

목차

Abstract
1. 서론
2. 틸트 센서의 설계
3. 측정
4. 결론
참고문헌

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