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학술저널
저자정보
이우영 (한국기술교육대학교 기계공학부) 국정한 (한국기술교육대학교 기계공학부) 박종권 (한국기계연구원) 구본학 (제일진공[주])
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 한국반도체장비학회지 한국반도체장비학회지 제1권 제1호
발행연도
2002.1
수록면
41 - 45 (5page)

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In modem manufacturing, new applations and technologies demand smaller, and functional devices to replace large systems. As miniaturization becomes a necessity, many companies are interested in small pumps for use in creating ultra-high vacuum, but past efforts to develop such systems have failed due to problems with vibration, stress, heat and power consumption. This paper shows analysis-based design techniques for high vacuum turbomolecular pump by finite element analysis.
#터보분자펌프 #반도체 #유한요소해석 #모드해석 #응력과 변형 #Turbomolecular Pump #Semiconductor #Finite Element Analysis #Modal Analysis #Stress and Deformation

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