신경회로망을 이용한 플라즈마 식각공정제어에 관한 연구

차상엽 ,  고택범 ,  유정식 외 4명

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

1995 .10

신경회로망 모델을 이용한 플라즈마 식각공정의 최적 공정 운영 ( Optimal operation of plasma etching process utilizing neural network )

유정식 ,  고택범 ,  차상엽 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

신경회로망 모델을 이용한 플라즈마 식각공정의 최적 공정 운영

고택범 ,  차상엽 ,  하대원 외 2명

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

1994 .10

플라즈마 식각공정의 신경회로망 모델링

유정식 ,  하대원 ,  우광방 외 2명

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

1994 .10

플라즈마 식각공정의 신경회로망 모델링 ( Neural Network Modeling of Plasma Etching Process )

유정식 ,  고택범 ,  차상엽 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

플라즈마 식각 공정을 위한 3차원 식각 시뮬레이터 개발 ( Development of Three-Dimensional Etching Simulator for a Plasma Etching Process )

권오섭 ,  이제희 ,  윤상호 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

플라즈마 식각 공정을 위한 3차원 식각 시뮬레이터 개발

권오섭 ,  이제희 ,  윤상호 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

인공 신경망을 이용한 반도체 식각 공정 제어에 관한 연구

최문규 ,  김훈모 ,  윤건상

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

1998 .11

플라즈마 식각 라디칼의 신경망 모델링

김우석 ,  김병환

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2006 .10

Genetic Control of Learning and Prediction : Application to Modeling of Plasma Etch Process Data

김병환 ,  우형수 ,  곽관웅

제어로봇시스템학회 논문지

2007 .04

하이브리드 모델을 이용한 플라즈마 식각 공정에서의 식각종료점 검출

김승균 ,  홍상진 ,  한승수

대한전자공학회 학술대회

2011 .06

신경회로망을 이용한 플라즈마 식각공정의 최적운영과 이상검출에 관한 연구

고택범 ,  차상엽 ,  이석주 외 2명

제어로봇시스템학회 논문지

1998 .08

유전알고리즘과 신경회로망을 이용한 플라즈마 식각공정의 모델링과 최적제어입력탐색

高澤範 ,  車相燁 ,  兪正植 외 5명

전기학회논문지

1996 .01

퍼지 적응 제어기를 이용한 플라즈마 식각장비의 제어

노지명 ,  임종태

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

1994 .10

퍼지 적응 제어기를 이용한 플라즈마 식각장비의 제어 ( Plasma Etching System Control using Fuzzy Adaptive Controller )

노지명 ,  임종태

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

OES 정보와 신경망을 이용한 플라즈마 식각률 비균일도의 모델링

권민지 ,  김병환

대한전기학회 학술대회 논문집

2007 .10

플라즈마 주요 인자를 활용한 가상 계측 기반의 플라즈마 식각 공정 제어를 위한 시스템 식별

구준모 ,  박담대 ,  하대근 외 2명

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

2016 .03

Design of Process Management System based on Data Mining and Artificial Modelling for the Etching Process

Hyeon Bae ,  Sungshin Kim ,  Kwang Bang Woo

한국지능시스템학회 논문지

2004 .07

플라즈마 공정에서의 열 관리

강희석 ,  이대훈 ,  변성현 외 3명

KOSCO SYMPOSIUM 논문집

2015 .05

OES 센서를 이용한 반도체 식각 공정 모니터링 시스템 개발

김상철

한국컴퓨터정보학회논문지

2013 .03