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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
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저널정보
Korean Society for Precision Engineering International Journal of Precision Engineering and Manufacturing International Journal of the Korean Society of Precision Engineering Vol.6 No.2
발행연도
2005.4
수록면
34 - 39 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2005

New Inchworm type Actuator with I/Q heterodyne Interferometer Feedback for a Long Stroke Precision Stage
Chanwoo Moon ,  Sungho Lee ,  J.K. Chung International Journal of Precision Engineering and Manufacturing 2005.04 학술저널

2004

Precise Position Control of a Linear Stage with I/Q heterodyne Interferometer Feedback
Chanwoo Moon ,  Sungho Lee ,  J.K Chung 제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집 2004.08 학술대회자료

초록· 키워드

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The precision stage is an essential device for optic fiber assembly systems, micro machines and semiconductor equipments. A new piezoelectric inchworm type actuator is proposed to implement an actuator-integrated long-stroke linear stage. An in-and-quadrature phase (I/Q) heterodyne interferometer is developed as a feedback sensor of a servo system, and a synchronized counting method is proposed. The proposed measurement system can measure the accurate position of fast moving object with robustness to external sensing noise from actuator vibration. The developed servo stage will be applied to optic fiber device assembly system.
#Inchworm actuator #I/Q heterodyne interferometer

목차

ABSTRACT
1. Introduction
2. Proposed Inchworm Motor
3. Measurement system for a fast moving stage
4. Experiments
5. Conclusions
References

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