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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
윤덕원 (한양대학교 대학원) 안강호 (한양대학교 기계공학과) 한창수 (한양대학교 기계공학과)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 반도체및디스플레이장비학회지 반도체및디스플레이장비학회지 제6권 제1호
발행연도
2007.1
수록면
37 - 41 (5page)

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Recently PZT is used in ultra precision mechanism field. PZT has a small motion range although it has a high resolution. Many methods, such as inchworm, impact driving, etc., have been applied for the expansion of the motion range.? In this study, the new actuating mechanism for rotational motion with two PZT actuators is proposed. The ultra precision rotational actuator which is made by proposed mechanism is able to operate both coarse and fine motion. The design parameters of the proposed mechanism are considered to improve the performance of the system. The rotational stage which is applied by the proposed mechanism is fabricated. The resolution and velocity for fabricated rotational stage are measured by laser interferometer.
#Rotational stage #Impact drive #Inchworm drive #PZT #Semi-inchworm

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