반도체 웨이퍼의 온도 측정에 관한 연구

이욱현 ,  조종표 ,  정학근 외 2명

대한설비공학회 학술발표대회논문집

2015 .06

적외선 레이저의 간섭현상을 이용한 실리콘 웨이퍼의 온도 측정 ( Monitoring of Silicon Wafer Temperature by IR Laser Interferometry )

김재성 ,  이석현 ,  황기웅

전자공학회논문지-A

1994 .02

적외선 레이저의 간섭현상을 이용한 실리콘 웨이퍼의 온도 측정 ( Monitoring of Silicon Wafer Temperature by IR Laser Interferometry )

김재성 ,  이석현 ,  황기웅

대한전자공학회 학술대회

1992 .11

실리콘웨이퍼 평탄도 추정 알고리즘을 위한 디지털 컨텐츠에 관한 연구

송은지

디지털콘텐츠학회논문지

2004 .12

실리콘 웨이퍼 연삭가공 특성 평가에 관한 연구

이상직 ,  정해도 ,  이은상 외 1명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

1999 .05

실리콘 웨이퍼 표면에서 나노 입자의 거동

이종명 ,  김태훈 ,  조성호 외 3명

한국레이저가공학회 학술대회 논문집

2003 .01

반도체용 실리콘 웨이퍼의 진동 해석 ( Vibration Analysis of a Cubic-crystalline Silicon Wafer )

조진우 ,  김진오

대한기계학회 춘추학술대회

1994 .01

실리콘 웨이퍼의 두께 및 군굴절률의 동시 측정 기술

진종한 ,  맹새롬 ,  박정재 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2013 .10

고속 열처리공정 시스템에서의 웨이퍼 상의 온도분포 추정

이석주 ,  심영태 ,  고택범 외 1명

제어로봇시스템학회 논문지

1999 .05

실리콘 웨이퍼의 면저항 국제 비교

강전홍 ,  유광민 ,  이상화

대한전기학회 학술대회 논문집

2014 .11

레이저 유기 충격파를 이용한 실리콘 웨이퍼 표면 클리닝

이종명 ,  조성호 ,  박진구

한국레이저가공학회 학술대회 논문집

2002 .01

폴리싱 공정의 자동화를 위한 실리콘웨이퍼의 형상 추정 및 분류에 관한 연구

송은지

디지털콘텐츠학회논문지

2002 .06

실리콘 웨이퍼 상에 제작된 미소 유로에서의 유동특성 ( Flow Characteristics in a Microchannel Fabricated on a Silicon Wafer )

김형우 ,  원찬식 ,  정시영 외 1명

대한기계학회 논문집 B권

2001 .12

태양전지용 실리콘 웨이퍼를 위한 구조적 조명메커니즘의 매개변수 선정에 관한 연구

안병인 ,  김경범

대한기계학회 춘추학술대회

2011 .05

Laser 충격파를 이용한 실리콘웨이퍼 표면에서의 미세 오염입자 제거

강영재 ,  이상호 ,  박진구 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

실리콘 웨이퍼의 화학반응층 분석에 관한 연구

박준민 ,  정해도

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2003 .10

박형 결정질 실리콘 웨이퍼 제조기술

김준수 ,  최선호 ,  장보윤 외 1명

한국에너지학회 학술발표회

2015 .04

산소농도 16ppma 이하 단결정 실리콘 웨이퍼의 태양전지 효율에 관한 연구

육영진 ,  이윤호 ,  남우석 외 5명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2016 .05

실리콘 웨이퍼 공정스텝에서 FTIR에 의한 산소의 측정

김동수 ,  정원채

대한전자공학회 학술대회

2000 .06

실리콘 웨이퍼 연삭 가공의 기구학적 모델링과 해석

김상철 ,  이상직 ,  정해도

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2002 .05