미세 유로에서의 유동 특성에 관한 연구

김형우 ,  오재근 ,  정시영 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1999 .07

실리콘 웨이퍼 연삭가공 특성 평가에 관한 연구

이상직 ,  정해도 ,  이은상 외 1명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

1999 .05

코팅된 실리콘웨이퍼의 미소 마찰마멸특성에 관한 연구 ( Investigation of Micro-tribological Properties of Coated Silicon Wafer under Light Load )

차금환 ,  김대은

Tribology and Lubricants

1999 .03

실리콘 웨이퍼 표면에서 나노 입자의 거동

이종명 ,  김태훈 ,  조성호 외 3명

한국레이저가공학회 학술대회 논문집

2003 .01

반도체용 실리콘 웨이퍼의 진동 해석 ( Vibration Analysis of a Cubic-crystalline Silicon Wafer )

조진우 ,  김진오

대한기계학회 춘추학술대회

1994 .01

웨이퍼 캐리어 내부 유동 최적화 연구

변순석 ,  김윤제

대한기계학회 춘추학술대회

2011 .11

실리콘웨이퍼 평탄도 추정 알고리즘을 위한 디지털 컨텐츠에 관한 연구

송은지

디지털콘텐츠학회논문지

2004 .12

Temperature Measurement of Silicon Wafers Using Phase Estimation of Acoustic Wave

姜俊赫 ,  李錫垣

전기학회논문지 C

2003 .11

웨이퍼 배치 구조를 갖는 CVD 챔버 내부의 유동 분석

강승환 ,  이재원 ,  고한서

대한기계학회 논문집 B권

2018 .01

실리콘 웨이퍼의 면저항 국제 비교

강전홍 ,  유광민 ,  이상화

대한전기학회 학술대회 논문집

2014 .11

태양전지용 실리콘 웨이퍼를 위한 구조적 조명메커니즘의 매개변수 선정에 관한 연구

안병인 ,  김경범

대한기계학회 춘추학술대회

2011 .05

웨이퍼 경박화에 따른 실리콘 칩의 미소 굽힘 거동 해석

신동길

대한기계학회 춘추학술대회

2011 .05

실리콘 웨이퍼 연마에서 패드 열화 특성에 관한 연구

이상직 ,  정석훈 ,  박기현 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2008 .06

실리콘 웨이퍼의 화학반응층 분석에 관한 연구

박준민 ,  정해도

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2003 .10

박형 결정질 실리콘 웨이퍼 제조기술

김준수 ,  최선호 ,  장보윤 외 1명

한국에너지학회 학술발표회

2015 .04

실리콘 웨이퍼의 두께 및 군굴절률의 동시 측정 기술

진종한 ,  맹새롬 ,  박정재 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2013 .10

산소농도 16ppma 이하 단결정 실리콘 웨이퍼의 태양전지 효율에 관한 연구

육영진 ,  이윤호 ,  남우석 외 5명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2016 .05

실리콘 웨이퍼 연삭 가공의 기구학적 모델링과 해석

김상철 ,  이상직 ,  정해도

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2002 .05

반도체 제작을 위한 웨이퍼 배치 내부 유동 분석

강승환 ,  손동기 ,  고한서

한국전산유체공학회 학술대회논문집

2017 .11

450 ㎜ 실리콘 웨이퍼의 중력 처짐 대한 전산모사

김성일 ,  우태기 ,  김춘근 외 2명

대한전자공학회 학술대회

2010 .11