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학술저널
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저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 제21권 제6호
발행연도
2004.6
수록면
153 - 159 (7page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2004

나노 복화(複畵)공정을 이용한 PDMS 스탬프 제작
박상후 ,  임태우 ,  양동열 외 1명 대한기계학회 논문집 A권 2004.07 학술저널
나노 복화(複畵)공정의 역방향 적층법을 이용한 직접적 나노패턴 생성에 관한 연구
박상후 ,  임태우 ,  양동열 외 1명 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2004.06 학술저널
나노 복화(複畵)공정의 단면 적층법을 이용한 3차원 형상 제작에 관한 기초연구
박상후 ,  임태우 ,  양동열 외 2명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2004.05 학술대회자료

초록· 키워드

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In this study, a new process to pattern directly on a thin metal layer using improved nano replication printing (nRP) process is suggested to evaluate the possibilities of fabricating a stamp for nano-imprinting. In the nRP process, any figure can be replicated from a bitmap figure file in the range of several micrometers with nano-scaled details. In the process, liquid-state resins are polymerized by two-photon absorption which is induced by femto-second laser. A thin gold layer was sputtered on a glass plate and then, designed patterns or figures were developed on the gold layer by newly developed top-down building approach. Generally, stamps for nano-imprinting have been fabricated by using the costly electron-beam lithography process combined with a reactive ion-etching process. Through this study, the effectiveness of the improved nRP process is evaluated to make a stamp with the resolution of around 200㎚ with reduced cost.
#Femto-second Laser(펨토초 레이저) #Two-photon Polymerization(이광자흡수 경화) #Nano Replication Printing Process(nRP, 나노 복화공정) #Stamp(스탬프) #Top-down Building(역방향 적층)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 나노 복화공정 장치구성 및 방법
3. 공정변수 연구
4. 나노 복화패턴 제작
5. 결론
후기
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