지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2012.10
- 수록면
- 251 - 254 (4page)
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
This paper describes a novel method to fabricate a metallic nano stamp for label-free protein sensor. We investigated a mass production method of label-free protein microarray chip integrated with micro-well structures which depth is 150㎛ for the use of miniaturized multi parallel detection system. In the process of fabricating metallic stamp from polymer master, deposition of seed layer is essential. However, such depth caused difficulty in depositing seed layer on the sidewall by e-beam evaporation process. We demonstrated multi-step LIGA process to ease the issue and introduced PRC electroforming process to enhance mechanical properties of metallic nano stamp. The metallic nano stamp was fabricated by the proposed processes and applied to UV nanoimprinting process for replicating the protein micro-array chip.
목차
Abstract
1. 서론
2. 금속 스탬프 제작공정
3. 실험 결과 및 고찰
4. 결론
참고문헌
참고문헌 (0)
참고문헌 신청이 논문의 저자 정보
이 논문과 함께 이용한 논문
요철구조를 갖는 유연기판 상 나노 임프린팅에 관한 연구
김민수
,
김태경
,
제순규
외 2명
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2013
.10
상변화 마스크를 이용한 나노 리소그래피에 관한 연구
성중현
,
김민수
,
정명기
외 1명
한국소성가공학회 학술대회 논문집
2018
.05
Collaborative Optimization을 이용한 인사이드 도어 핸들 일체형 하우징 최적설계
한재호
,
정명기
,
김영준
외 6명
한국소성가공학회 학술대회 논문집
2017
.05
간섭리소그래피 공정을 통한 임의의 자유곡면 패터닝을 위한 오차 보정 모델링에 관한 연구
김민수
,
박창수
,
제순규
외 3명
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2017
.04
두 특성의 가치함수를 이용한 사출성형의 최적 설계
박종천
,
김경모
한국기계가공학회지
2015
.02
최근 본 자료
댓글(0)
0