리니어모터를 이용한 초정밀 유정압안내면 개발

박천홍; 오윤진; 황주호; 이득우

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자료유형: 학술저널

저자정보: 박천홍 오윤진 황주호 이득우

저널정보: Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 제21권 제6호

발행연도: 2004.6

수록면: 139 - 144 (6page)

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In order to discuss the availability of hydrostatic guideways driven by the core less linear motor to ultra precision machine tools, a prototype of guideway is designed and tested in this research. A coreless linear DC motor with the continuous force of 156 N and a laser scale with the resulution of 0.01 ㎛ are used as the feeding system. The experiments are performed on the static stiffness, motion accuracy, positioning accuracy, micro step response and variation of velocity. The guideway has the infinite axial stiffness within 50 N of applied load, and by the motion error compensation method using the Active Controlled Capillary, 0.08 ㎛ of linear motion error and 0.1 arcsec of angular motion error are acquired. The guideway also has 0.21 ㎛ of positioning error and 0.09 ㎛ of repeatability, and it shows the stable response against the 0.01 ㎛ resolution step command. The velocity variation of feeding system is less than 0.6%. From these results, it is confirmed that the hydrostatic guideway driven by the coreless linear motor is very useful for the ultra precision machine tools.

#Hydrostatic guideway(유정압안내면) #Coreless linear motor(무철심형 리니어모터) #Axial stiffness(축방향 강성) #Positioning error(위치결정오차) #Velocity variation(속도변동)

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