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논문 기본 정보

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저널정보
Korean Society for Precision Engineering International Journal of Precision Engineering and Manufacturing International Journal of the Korean Society of Precision Engineering Vol.6 No.2
발행연도
2005.4
수록면
55 - 60 (6page)

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In order to develop the hydrostatic guideways driven by a coreless linear motor for ultra precision machine tools, a prototype of guideway is designed and tested. A coreless linear DC motor with a continuous force of 156 N and a laser scale with a resolution of 0.01 ㎛ are used in the system. Experimental analysis on the static stiffness, motion errors, positioning error and its repeatability, micro step response and velocity variation of the guideway are performed. The guideway shows infinite stiffness within 50 N applied load in the feed direction, and by the motion error compensation method using the Active Controlled Capillary, 0.08 ㎛ linear motion error and 0.1 arcsec angular motion error are acquired. The guideway also reveals 0.21 ㎛ positioning error and 0.09 ㎛ repeatability, and it shows stable responses following a 0.01 ㎛ resolution step command. The velocity variation of feeding system is less than 0.6%. From these results, it is estimated that the hydrostatic guideway driven by a core less linear motor is very useful for the ultra precision machine tools.
#Hydrostatic guideway #Ultra precision #Coreless linear motor #Static stiffness #Motion errors #Positioning error #Repeatability #Mica step response #Velocity variation

목차

ABSTRACT
1. Introduction
2. Design of a guideway and its feeding system
3. Performance tests and discussions
4. Conclusions
Acknowledgement
References

참고문헌 (4)

참고문헌 신청
[학술지(정기간행물)] - / 1994. / Development of ultra-precision grinding machine for grazing incidence X-ray mirrors J. of JSPE nii 60 : 1309 ~ 1313 google schola [학술지(정기간행물)] - / 1995. / New Stage System for Step-and-Repeat Scanning Stepper 61 (12) : 1676 ~ 1680 google schola [학술지(정기간행물)] - / 2001. / Current and Futures of Precision Positioning Stage Working in Stepper 67 (2) : 202 ~ 206 google schola [학술지(정기간행물)] - / 1997. / Improvement of Motion Accuracy Using Active Controlled Capillary in Hydrostatic Table 14 (12) : 114 ~ 120 google schola

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