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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2007년도 춘계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2007.5
수록면
3,135 - 3,140 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2007

주기 발열 파형을 이용한 열식 질량 유량계의 특성에 관한 수치적 연구
전홍규 ,  오동욱 ,  박병규 외 1명 대한기계학회 춘추학술대회 2007.05 학술대회자료

2006

열식 질량 유량계의 측정 최적화를 위한 수치적 연구
전홍규 ,  오동욱 ,  박병규 외 1명 대한기계학회 춘추학술대회 2006.11 학술대회자료

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Numerical simulations are conducted for the analysis of a thermal mass air flow sensor with periodic heating pulses on silicon-nitride (Si₃N₄) thin membrane structure. This study ai㎳ to find the locations of temperature sensors on the thin membrane and the heating pulse conditions, that the higher sensitivity can be achieved, for the development of a MEMS fabricated mass air flow sensor which is driven in periodic heating pulse. The simulations, thus, focus on the membrane temperature profile according to variation of the flow velocity, heating duration time and imposed power. The flow velocity of the simulations is ranging from 3 ㎧ to 35 ㎧, heating duration time from 1 ㎳ to 3 ㎳ and imposed power from 50 ㎽ to 90 ㎽. The corresponding Reynolds numbers vary from 1000 to 10000.
#Thermal mass air flow sensor(열식 질량 유량계) #Periodic heating pulse(주기 발열파형) #Thermal time-of-flight(열적 비행 시간) #Thermotransfer(열전사)

목차

Abstract
1. 서론
2. 수치해석 방법 및 조건
3. 결과 및 고찰
4. 결론
후기
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