고응답 열식 질량공기유량센서의 제작 및 열거동 특성

박병규; 이준식

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자료유형: 학술저널

저자정보: 박병규 이준식

저널정보: 대한기계학회 대한기계학회 논문집 B권 대한기계학회논문집 B권 제32권 제7호

발행연도: 2008.7

수록면: 542 - 548 (7page)

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A thermal mass air flow sensor (MAFS), which consists of a micro-heater and thermo-resistive sensors on the silicon-nitride (Si₃N₄) thin membrane structure, is micro-fabricated by MEMS processes. Two thermo-resistive temperature sensors are located at 100㎛ upstream and downstream from the micro-heater respectively. The thermal characteristics are measured to find the best measurement indicator. The micro-heater is operated under constant power condition, and four flow indicators are investigated. The normalized temperature indicator shows good physical meaning and is easy to use in practice. It is found that the configurations and heating power of thermal-resistive elements are the dominant factors to determine the range of the flow measurement in the MAFS with higher sensitivity and accuracy.

#Thermal Mass Flow Sensor(열식 질량유량센서) #Thermo-resistive Type(열저항식) #MEMS Sensor Microfabrication(멤스 센서 제작)

참고문헌 (13)

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1. [학술지(정기간행물)] - Nguyen, N. T / 1997 / Micromachined Flow Sensors - A review / Flow Meas. Instrum 8 (1) : 7 ~ 16

2. [학술지(정기간행물)] - Ashauer, M / 1999 / Thermal Flow Sensor for Liquids and Gases Based on Combinations of Two Principles / Sensors and Actuators : 7 ~ 13

3. [학술지(정기간행물)] - Buchner, R / 2006 / A High-temperature Thermopile Fabrication Process for Thermal Flow Sensors / Sensors and Actuators : 262 ~ 266

4. [단행본] - Bolton, W / 2004 / Mechatronics: Electronic Control Systems in Mechanical and Electrical Engineering / Prentice Hall

5. [학술지(정기간행물)] - Sabate, N / 2004 / Multi-range Silicon Micro- machined Flow Sensor / Sensors and Actuators : 282 ~ 288

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